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自动化技术
新型水晶体波谐振式膜厚传感器
介绍一种利用B模式厚度切变体波工作的新型水晶谐振式膜厚传感器。它采用修正式SC切型 ,以同线场电极激励。它可以在 10~ 2 80℃范围内工作 ,其测量范围为 0 .1~ 80nm ,准确度为 0 .0 2nm。
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传感器技术
2001年04期
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