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自动化技术
准LIGA技术在微传感器制造中的应用
准LIGA技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的优点 ,利用此技术 ,用普通光学曝光机可将光刻图形转移到较厚的光刻胶上 ,获得较大的深宽比 ,从而解决了LIGA技术的光源问题。简要介绍了准LIGA技术的工艺过程特点和应用实例
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传感器技术
2000年03期
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