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自动化技术
微型多晶硅膜电容式压力传感器的研制
<正>目前使用较为广泛的扩散硅压阻式压力传感器,是利用半导体硅的电阻率随应力变化的性质而制成的.由于电阻器间的PN结隔离,使这种传感器温度稳定性较差,应用时
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传感技术学报
1994年02期
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