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自动化技术
碲化镉新型β-射线探测器的研制
本文介绍一种新型的β—射线探测器的制造过程及其特性.采用背吸杂技术有效地降低了器件的反向漏电流并提高了成品率,提出并应用真空镀铜工艺制作P型碲化镉的低阻接触,取得了良好的效果,该探测器由一个PN结二极管构成.在20℃,2V的电压下其反向漏电流小于3.5X10~(-12)A/mm~2,在60℃,2V的电压下其反向漏电流小于3.5×10~(-11)A/mm~(2),因而探测器可在60℃下正常工作.在标准~(85)Krβ—射线源上获得了1.65×10~(-9)A的输出电流,其截止频率大于2300Hz
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传感技术学报
1994年02期
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