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物理学
衬底负偏压热灯丝CVD金刚石薄膜在锥体上核化的研究
以CH4 和H2 为反应混合气体,用衬底负偏压热灯丝CVD法在Si(100)面上制备金刚石膜,使用扫描电子显微镜(SEM)、Ram an 谱和X射线光电子能谱(XPS)对在硅尖上的金刚石核化进行了研究,并着重讨论了沉积在硅尖上的金刚石颗粒的生长机理。
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重庆邮电学院学报
1999年04期

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