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工业通用技术及设备
微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的进展
评述了用微波等离子体化学气相沉积法制备高质量人造金刚石薄膜的最新动态和发展趋势。介绍的内容包括:制备仪器、应用领域、沉积条件等。
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表面技术
1997年03期

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