微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的进展-表面技术1997年03期-手机知网

手机知网 App

24小时专家级知识服务

工业通用技术及设备

微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的进展

重庆建筑大学基础科学系 | 郑怀礼

评述了用微波等离子体化学气相沉积法制备高质量人造金刚石薄膜的最新动态和发展趋势。介绍的内容包括:制备仪器、应用领域、沉积条件等。

机　构:

重庆建筑大学基础科学系;

领　域:

工业通用技术及设备；

关键词:

人造金刚石薄膜；化学气相沉积法；微波等离子体；

6 261

下载PDF版

手机阅读本文

下载APP 手机查看本文

搜索