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物理学
钛酸钡薄膜的喷雾热分解方法制备及PTC效应研究
介绍了在Pt/Ti/Si( 1 0 0 )衬底上用溶胶溶液和喷雾热分解方法制备BaTiO3薄膜 ,并研究其PTC效应。富钛 3 %的钛酸钡溶胶溶液在衬底温度 65 0℃环境下成膜 ,氧气作为载气其流量为 1 5L/min ,80 0℃环境下退火 2h。在大于居里点温度Tc( 1 3 8℃ )时表现出良好的PTC效应。钛酸钡薄膜厚度 1 5 0 0nm时 ,室温下极间电阻为 70Ω。在大于居里点温度Tc( 1 3 8℃ )时 ,极间电阻可达 1 0 6 Ω。
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北京石油化工学院学报
2003年01期
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