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无线电电子学
钇钡铜氧半导体薄膜的宽光谱响应特性
对以 Si为衬底的钇钡铜氧 (分子式 :Y1 Ba2 Cu3O7-δ δ≥ 0 .5 ,简称 :YBCO)半导体薄膜的宽光谱响应特性进行了研究 .采用该薄膜作灵敏元的单元测辐射热计分别对红外波段 (1— 15μm)、亚毫米波段 (5个波长 )及毫米波 (3m m )进行光谱响应测试 ,结果表明这种半导体探测器不仅在红外波段 ,而且在亚毫米波甚至毫米波段都有良好的响应特性 .该薄膜是继 VO2 薄膜之后用于非制冷红外焦平面的一种新材料
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半导体学报
2001年11期

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