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无线电电子学
用于共振腔光电探测器的Si基Bragg反射器
Si基共振腔型光电探测器的关键工艺是隐埋 Bragg反射器镜面的制备 .用 PECVD方法在 Si衬底上制备了 Si Ox Ny/Si Bragg反射器 ,研究了 Bragg反射器的反射谱和退火行为 .
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半导体学报
2000年05期
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