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无线电电子学
连续波电光检测法用于检测超薄层异质结外延材料均匀性的研究
本文以连续波电光检测法(CWEOP)为基本原理,设计完成了自动电光检测系统,并采用锁相放大技术,对超薄层异质结外延材料进行了电场分布的测试,由此对其均匀性进行了评估.通过实验探讨了超薄层异质结外延材料2DEG分布不均匀的电光检测标准、最佳测试条件等,并对影响测量结果的因素进行了分析.本方法的突出优点是能够无损地对超薄层异质结外延材料不均匀的2DEG进行定位.
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半导体学报
1997年05期
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