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无线电电子学
MOS结构Si/SiO_2界面态的电荷泵测量
建立了一套进行MOS结构Si/SiO2界面态电荷泵测量的测试系统,其发展的快速电荷泵技术可使界面态测量速度达到5次/秒.分析研究了泵电流与Si/SiO2界面态测量之间所应关注的技术细节.借助于电荷泵法,研究了PMOSFETSi/SiO2界面态在辐照和退火过程中生长和退火的行为规律.
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半导体学报
1997年05期
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