手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
无线电电子学
用气相色谱法测定半导体工艺中固、液、气相砷、磷及化合物的新方法
本文研究了一种快速、灵敏、可靠的高温氢还原—气相色谱分析方法,样品不需预处理,使气相色谱仪能直接测定固、液、气相样品中砷、磷及其化合物的含量.砷、磷的检测限分别为0.01mg/L和0.003mg/L.相对偏差分别为6.2%和8.6%,测定范围为10-5~10-11.并与经典方法进行对比,结果一致.
3 63
手机阅读本文
下载APP 手机查看本文
半导体学报
1997年01期
相似文献
图书推荐
相关工具书

搜 索