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无线电电子学
氨气敏Pd-Ir合金栅MOS晶体管
本文介绍一种新型氨气敏MOS场效应晶体管.采用Pd-Ir合金作为场效应晶体管的金属栅极.器件对氨气有足够的灵敏度和较好的选择性.文章分析了器件对氨气的敏感机理.
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半导体学报
1989年09期
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