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自动化技术
哈特曼像差自动测量系统设计与开发
研究了哈特曼物镜自动测量的系统结构,包括哈特曼球差测量的光学系统、面阵CCD图像采集系统和光栅位移测量系统。深入讨论了数字图像处理、测量与识别的软件设计方案,进行实验与误差分析。关于数字图像处理、测量与识别的软件设计的讨论,有许多独到之处。解决了系统设计所遇到的关键技术,解决如何在一维图像存储器中准确地寻找二维图像目标,找到了目标之后如何进行有关的目标计算,提高了求解的可计算性。
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半导体技术
2009年04期

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