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无线电电子学
氟气─清洗化学气相沉积反应器腔室的创新方式
对于将氟气应用在化学气相沉积器清洗的应用而言,其安全性、稳定性、纯度和价格,在应用上是一个新的挑战。对一般气相沉积反应器清洗而言,一体化氟气供应策略,对寻求低价取代方案的使用者而言,是最安全和稳定的供应方式。
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半导体技术
2004年01期

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