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无线电电子学
国内外多晶硅发展现状
叙述了国内外多晶硅的发展概况,讨论了多晶硅生产过程中改良西门子法的几项关键技术,并对我国多晶硅材料的研究提出了几点建议。
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半导体技术
2001年11期
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