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无线电电子学
多孔铂化硅红外探测器技术
 采用多孔PtSi结构是提高PtSi探测器量子效率的有效技术途径。介绍了一种高量子效率的PtSi红外探测器,即多孔PtSi红外探测器。叙述了这种探测器的制作方法及器件测试结果,并对测试结果进行了讨论。
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半导体光电
2004年06期

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