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无线电电子学
Si基SiGe光波导开关的研究现状与最新进展
 随着光纤通信技术的迅猛发展,作为光交叉连接和光分插复用核心器件的光开关的作用日益突出。其中Si基光波导开关由于其成本低、可靠性高、器件制作工艺成熟等诸多优点而备受重视。综述了目前Si基光波导开关,特别是SiGe材料光波导开关的研究现状和进展。
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半导体光电
2004年06期

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