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用于制备纳米多层膜的金属掩膜法的研究
天津理工学院材料科学与工程系,天津理工学院材料科学与工程系,天津理工学院材料科学与工程系,天津理工学院材料科学与工程系,天津理工学院材料科学与工程系 天津 300191 ,天津 300191 ,天津 300191 ,天津 300191 ,天津 300191 ;
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由臣
赵燕平
孙永昌
简介了现有金属腌膜法制备纳米多层膜的过程,指出采用定位图形套准模板存在的弊端,研制出采用定位框固定基片、套准模板的制备新方法及装置。试验表明,采用该方法可显著提高制备纳米多层膜的完好率及套准精度。
机 构:
天津理工学院材料科学与工程系,天津理工学院材料科学与工程系,天津理工学院材料科学与工程系,天津理工学院材料科学与工程系,天津理工学院材料科学与工程系 天津 300191 ,天津 300191 ,天津 300191 ,天津 300191 ,天津 300191;
领 域:
材料科学
；
关键词:
纳米多层膜
；
定位框
；
套准
；
模板
；
格 式:
PDF原版；EPUB自适应版
(需下载客户端)
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兵器材料科学与工程
2004年03期
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