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物理学
Cu块材及Cu膜的光学常数研究
用反射式动态椭圆偏振光谱技术对Cu块材、Cu薄膜及Cu厚膜的光学常数进行了测试分析。研究结果表明:与Roberts块材、Johnson厚膜数据相比,不同方法得到Cu的光学常数在谱线形状上基本相似,但在数值上存在一定差别;在波长为250~830nm范围内,Cu块材和膜的折射率n与消光系数k分别在0.1~1.5和1.5~5.0之间;随膜厚增加,n值增大,k值减小;厚膜的n、k值与块材的更为接近。同时讨论了光学常数与微结构的关系。
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安徽大学学报(自然科学版)
2004年02期

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