摘要
ABSTRACT
目录
第一章 绪论 1.1 研究背景 1.2 大气压辉光放电的原理和进展 1.3 大气压放电的装置和诊断 1.4 辉光放电的获得和诊断 1.5 射频大气压放电研究意义 1.6 射频大气压放电的研究现状和存在的问题 1.7 本课题提出的意义和研究内容 1.8 本章小结
第二章 实验设备和诊断仪器 2.1 RF放电的基本特性 2.2 RF大气压放电的应用 2.3 RF大气压放电的诊断 2.4 本实验装置及参数
第三章 实验结果及分析 3.1 大气压下氩气射频放电研究 3.2 混合气体时RF大气放电的研究 3.3 射频大气压氩气介质阻挡放电斑图研究 3.4 大气压RF-DBD中的Lissajous图型研究 3.5 温度对放电的影响 3.6 射频大气压氧化硅的合成 3.7 本章小结
第四章 总结 4.1 本文主要研究成果与结论 4.2 进一步工作的展望 4.3 本文的创新之处
参考文献
在读期间发表的学术论文
致谢