<正> 纳米薄膜或涂层材料已成为现代材料科学中的一个重要分支,在摩擦学,光学,电磁学等领域有着重要的研究价值,被广泛应用于耐磨镀层,装饰膜和耐蚀膜,薄膜光路元件,光存储器件,薄膜电阻,太阳能电池,磁性传感器以及超导存储元件等的制备。但是目前要制备结构致密均一,膜厚可控并具有一定晶体结构的纳米薄膜或涂层,往往需要特殊的制备设备,复杂的制备工艺及真空,高温等制备条件,而在复杂结构衬底表