用计算机辅助干涉仪测试非球面-《'99十一省（市）光学学术会议论文集》（1999）-手机知网

用计算机辅助干涉仪测试非球面

中国科学院光电技术研究所中国科学院光电技术研究所 | 伍文伍凡

利用计算机图形技术,把设计的小偏离量非球面模拟非球面干涉,得到理想非球面干涉图,并以此作“标准”,再通过激光波面干涉仪上对实际加工件精确测量获得的非球面干涉图,在微机上,通过编制的专用软件对两干涉图比较,定量地得出所检非球面面形质量,光学特性。

领　域:

物理学；

关键词:

干涉图；小偏离量非球面；法线；