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力学
基于拉曼光谱的微结构应力分析系统
<正>本文介绍一种利用拉曼散射光谱对微结构实现应力分布特性测量的方法,具有高空间分辨率, 高灵敏度,无破坏性等优点。利用高频调制技术搭建的基于拉曼光谱仪的 MEMS 动态测试系统,可以反映 MEMS 器件运动到某一位置的动态应力,对微结构设计有指导意义。
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第十四届全国光散射学术会议论文摘要集
2007年

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