微波等离子体合成类金刚石(DLC)膜的研究

　　本文对用微波等离子体化学气相沉积方法,以甲烷和氢气的混合气体为原材,在硅或石英玻璃基片上合成类金刚石薄膜进行了研究,并对微波放电合成类金刚石膜的条件进行了考察和探讨。……

[关键词]：微波等离子体;类金刚石;合成
[文献类型]：期刊
[文献出处]：《真空1991年02期》

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