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微波等离子体合成类金刚石(DLC)膜的研究

于爱民;徐文国;张寒琦;段忆翔;杨广德;刘军;金钦汉

  本文对用微波等离子体化学气相沉积方法,以甲烷和氢气的混合气体为原材,在硅或石英玻璃基片上合成类金刚石薄膜进行了研究,并对微波放电合成类金刚石膜的条件进行了考察和探讨。……   
[关键词]:微波等离子体;类金刚石;合成
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《真空1991年02期