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退火温度对纳米TiO_2薄膜结构和亲水性的影响

刘彭义;叶勤;唐振方;孙汪典;叶海;赵丽特;张丽丽

  采用射频磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛 (TiO2 )薄膜 ,研究了不同退火温度对薄膜微观结构和超亲水性的影响。结果表明 :退火温度升高 ,晶粒长大 ,孔隙率减小 ;常温制备 30 0℃以下退火的TiO2 薄膜为无定形结构 ,亲水性差 ;4 0 0℃~ 6 5 0℃退火的薄膜为锐钛矿结构 ,表现出超亲水性 ;80 0℃退火薄膜为金红石结构 ,亲水性有所下降……   
[关键词]:磁控溅射;TiO2薄膜;退火;晶相转变;亲水性
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《真空科学与技术学报2004年02期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)