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镍衬底上定向金刚石膜的成核与生长

邱东江;顾智企;吴惠桢

  提出了一种包括晶粒接种、高温退火、成核、生长四过程的薄膜沉积新方法 ,用射频等离子体增强热丝化学气相沉积系统 ,在Ni衬底上制备了定向金刚石膜。通过对成核和生长两过程工艺条件的研究 ,掌握了提高成核密度和金刚石定向生长规律。实验还表明 ,膜与Ni衬底之间未见Ni C H界面层的形成……   
[关键词]:四步沉积法;成核与生长;金刚石膜
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《真空科学与技术2000年05期