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自顶向下贯穿腐蚀制备空腔型FBAR的方法

高杨;何移;周斌;何婉婧;李君儒

  牺牲层释放是空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)工艺中形成空腔结构的关键步骤,牺牲层释放的效果直接决定了空腔型FBAR的谐振特性。根据空腔型FBAR中气隙的功能和结构特点,提出了自顶向下贯穿腐蚀牺牲层制备镂空空腔型FBAR的创新工艺方法。为验证该方法的可行性,采用MATLAB对牺牲层腐蚀的恒扩散系数(CDC)模型进行数值迭代,采用Silvaco软件对其腐蚀过程进行仿真,根据仿真结果提出释放窗口的优化设计;采用ANSYS软件对镂空FBAR的谐振特性进行有限元仿真分析,对比常规FBAR发现,镂空FBAR具有较好的谐振特性,且其阻抗零点、阻抗极点频率向高频段漂移,有效机电耦合系数和品质因数降低。……   
[关键词]:薄膜体声波谐振器(FBAR);空腔型;牺牲层腐蚀;释放窗口;谐振仿真
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《压电与声光2014年05期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)