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集成化N沟MOS核心参数的Taurus Workbench优化

侯国宪;李惠军;赵国庆

  首先介绍了集成电路TCAD虚拟工厂系统TaurusWorkbench,基于CMOS工艺的特点,在TaurusWorkbench环境下进行了深亚微米级N沟器件的核心参数优化,优化结果印证了新的工艺条件对器件特性的改善。……   
[关键词]:超大规模集成电路;超深亚微米;阈值电压;仿真;优化
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微电子学与计算机2004年06期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)