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面向21世纪的微电子技术

王阳元;张兴

  本文对21 世纪微电子技术的发展趋势作了一个展望。本文认为21 世纪初的微电子技术仍将以硅基 C M O S 电路为主流工艺,但将突破目前所谓的物理“限制”,继续快速发展;集成电路将逐步发展成为集成系统;微电子技术将与其他技术结合形成一系列新的增长点,例如微机电系统(M E M S) 、 D N A 芯片等将得到突飞猛进的发展。具体地,超微细光刻技术、虚拟工厂技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、 S O I 技术等将在近几年内得到快速发展。21 世纪将是我国微电子产业的黄金时代……   
[关键词]:微电子技术;集成系统;微光机电系统;DNA芯片
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《世界科技研究与发展1999年04期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)