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21世纪微电子技术发展展望

李志坚

  1.集成电路技术的高速发展几十年来集成电路(IC)技术一直以极高的速度发展。著名的摩尔(Moore)定则指出IC的集成度(每个微电子芯片上集成的器件数),每3年左右为一代,每代翻两番,对应的IC制作工艺中的特征线宽每代缩小约30%。根据按比例缩小原理(Scaling Down Princi-ple),特征线条越窄,IC的工作速度越快,单元功能消耗的功率就越低。所……   
[关键词]:微电子技术;微电子芯片;发展展望
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《世界科技研究与发展1998年03期