手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
手机知网|搜索

直梁结构光栅光调制器的机电特性分析与实验

金珠;温志渝;张智海;黄尚廉

  介绍了直梁光栅光调制器的结构和原理,建立了器件的机电模型.利用能量法和卡式第二定理分析并得到器件的弹性系数;通过静电力与机械回复力的平衡,得到器件的驱动电压.结合器件的实际参数值,计算得到器件的工作电压为10.71 V,吸合电压为11.46 V.实验测得器件的实际工作电压为10.5 V,吸合电压为12.2 V,实验结果与理论分析基本一致.在1 kHz脉冲电压的驱动下,器件响应的上升时间和下降时间分别为46.59μs和44.77μs;器件的响应频率约为5 kHz.结果表明,加工的直梁光栅光调制器具有较低的驱动电压和较高的响应频率,能够满足微投影显示的要求.……   
App内打开