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SOI技术——21世纪的硅集成技术

伍志刚;凌荣堂

  SOI技术作为 2 1世纪的硅集成技术 ,越来越受到人们的关注。文章从寄生电容、闭锁效应、热载流子效应、体效应及辐射效应等几个方面详细讨论了 SOI器件对体硅器件的优势 ,并讨论了当前 SOI技术的研究领域和发展方向……   
[关键词]:SOI;体硅;SIMOX;硅集成
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微电子学2001年01期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)