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支持向量机算法在氮化铝薄膜生长过程控制中的应用

陈念贻;陆文聪;武海顺;许小红

  用作压电材料的氮化铝薄膜要求有100或002晶体取向。薄膜的晶体取向与薄膜制备时的溅射气压、靶基距、靶功率有关。本工作应用支持向量机算法总结实验数据的数学模型,并用留一法检验模型的预报能力。计算表明:支持向量机算法的预报能力较传统的模式识别算法如Fisher法或KNN法为佳。有希望成为实验设计的有用工具。……   
[关键词]:氮化铝薄膜制备;支持向量机算法;实验设计
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《计算机与应用化学2002年06期