手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
手机知网|搜索

纳米二氧化钛薄膜的磁控溅射制备和结构特性表征

刘彭义;张丽丽;叶海;叶勤;唐振方

  用磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛(TiO2)薄膜,对制膜的工艺参数进行了详细的测试分析.X射线衍射(XRD)分析表明退火温度提高,TiO2薄膜结晶度增加,800℃下退火2h,TiO2薄膜完全转化为金红石结构,其分子式为Ti8O15,出现氧空位.……   
[关键词]:磁控溅射;TiO2薄膜;热处理;晶相转变
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《暨南大学学报(自然科学与医学版)2004年03期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)