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声表面波器件的快速精确模拟

柯亚兵;李红浪;何世堂

  该文提出了声表面波器件有限元/边界元(Finite Element Method/Boundary Element Method,FEM/BEM)模拟的快速计算方法.FEM/BEM方法作为一种全波分析方法,考虑了所有声波模式,能实现对声表面波器件的精确模拟,但FEM/BEM方法一般计算量大而难以实用,国内外已有工作围绕提高FEM/BEM法的计算速度展开.本文将在Ventura工作的基础上,优化占主要计算量的体波贡献.首先对固定的半无限长压电基片的格林函数用分段多项式函数近似,以避免复杂格林函数的反复计算,然后推导出近似后的积分之间的递推关系式,编写递推算法,并通过实例验证了递推算法能达到精度要求且提高了计算速度.最后采用优化后的FEM/BEM程序对一种纵向耦合(Double Mode Saw,DMS)滤波器进行模拟,模拟结果与实验结果吻合.……   
[关键词]:FEM/BEM;格林函数;递推算法
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《中国科学:物理学 力学 天文学2011年10期
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