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无线电电子学
微细加工技术
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2007年第05期
1.
电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析
2.
环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究
3.
电子束直写中X射线光刻掩模的热形变研究
4.
飞秒激光应用于合金材料微细加工的试验研究
5.
光刻机试验运动装置振动信号的时频分析
6.
微细工件的高频群脉冲ECLM试验研究
7.
基于AFM的多图层图形加工
8.
氨化Si基Ga_2O_3/Ta薄膜制备GaN纳米线
9.
基于多种群遗传算法的膜系优化设计
10.
Al掺杂的ZnO薄膜的XPS谱和光学特性研究
11.
90nm技术节点硅栅的干法刻蚀工艺研究
12.
硅基铂钛夹层AAO多孔模版制备半导体量子线
13.
微细电解加工中工具电极的制备及应用
14.
基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作
15.
双向横向热执行器结构设计
期 号:
06
05
04
03
02
01
出版年:
2000
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