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负衬底偏压增强金刚石核化的机制研究

王必本;王万录;廖克俊;肖金龙

  利用扫描电子显微镜研究了热灯丝 CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程 ,给出了实验结果 .着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制 .……   
[关键词]:热灯丝CVD;负衬底偏压;金刚石核化
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《广西师范大学学报(自然科学版)2000年03期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)