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MPEGD光源中的工作气体Ar的光谱特性的研究

李一木;杜朝晖;段忆翔;张寒琦;金钦汉;刘鸿石

  本文介绍了一种改进型的微波等离子体增强辉光放电(MPEGD)光源,对这种级联光源中的工作气体Ar的光谱特性进行了较详细的考察,对单纯微波等离子体放电,单纯辉光放电以及微波等离子体增强辉光放电的Ar谱线进行了研究,并讨论了微波功率等的影响。认为这种微波等离子体增强辉光放电光源在对中低能级跃迁产生的谱线有明显的增强作用。……   
[关键词]:微波等离子体;辉光放电;光源;;光谱特性
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《光谱学与光谱分析1997年04期