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坡莫磁阻薄膜的热处理研究

章岚;郭懋端;徐梅娣

  研究了坡莫磁阻薄膜的热处理工艺对电磁性能和组织结构的影响。通过溅射样品退火处理前后的X射线和TEM分析表明退火后(111)织构加强,堆垛层错减少,晶粒长大,缺陷减少。退火后电阻率下降,各向异性磁阻提高,但软磁性能没有改善,这些是与微结构变化相联系的。……   
[关键词]:(111)织构;坡莫磁阻薄膜;堆垛层错;软磁性能
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《功能材料1993年05期