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制造玻璃微流控芯片的简易加工技术

殷学锋;沈宏;方肇伦

  报道了在普通化学实验室中设计和加工玻璃微流控芯片的方法。用AdobeIllustrator 8.0软件设计微流控芯片图形 ,通过高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩模。用商品匀胶铬板表面的 14 5nmCr 5 70nmAz 180 5光胶层作为保护层 ,在 5 0℃刻蚀液 (1mol LHF +1mol LNaF)中 ,刻蚀速度为 2 μm min。通过彻底洗净加工好的玻璃基片 ,提高了芯片热键合的质量和成品率。制得的芯片已成功地用于氨基酸分离和PCR扩增。……   
[关键词]:微流控芯片;微加工技术;掩模;湿法刻蚀;键合
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《分析化学2003年01期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)
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