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微阵列光寻址生化传感器系统性能研究

韩泾鸿;梁卫国;张虹;陈德勇;徐磊

  该文介绍一种基于电解质溶液-绝缘层-半导体(EIS)结构的光、机、电一体化的微阵列光寻址电位传感器系统(LAPS)。文中研讨了LAPS的基本原理和微阵列光寻址电位传感器系统的制造。通过实验证明了芯片厚度、调制频率、曲线线性度对系统性能的影响,获得多种生化参数的光寻址测试结果。……   
[关键词]:光寻址电位传感器(LAPS);微电子机械系统(MEMS);生化传感器
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《电子与信息学报2003年06期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)
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