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Ta_2O_5薄膜MOS型湿敏元件的机理研究

刘云峰;陈国平;张浩康

  使用直流磁控反应溅射的工艺方法制备了Ta2O5薄膜MOS型湿敏元件,提出了元件的结构模型,并对其感湿机理进行了讨论.……   
[关键词]:Ta_2O_5;薄膜;MOS湿敏元件
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《电子学报1998年05期
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