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无声放电等离子体及其应用

凌一鸣

  无声放电等离子体是一种非平衡态等离子体,它可用于等离子体化学、紫外与真空紫外光源以及气体激光器激励等方面。本文将概要介绍无声放电及其应用的研究进展。……   
[关键词]:无声放电;低温等离子体;气体放电
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《电子器件1997年03期