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跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)

张兴;郝一龙;李志宏;王阳元

  微机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科。它将电子系统和外部世界有机地联系起来,它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界信号,并将这些信号转换成电子系统可以认识的电信号,而且还可以通过电子系统控制这些信号,进而发出指令,控制执行部件完成所需要的操作。本文主要就MEMS技术的特点、分类、研究领域、加工工艺、用途以及今后的发展趋势等问题进行简要的讨论和分析。……   
[关键词]:微机电系统;微机械;微传感器;微执行器
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《电子科技导报1999年04期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)