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氮异常辉光放电中离子成分及能量分子束质谱诊断

刘佳宏;唐书凯;王文春;杨学锋

  利用国内首台三级差分抽空的分子束质谱装置 ,对短间隙氮异常辉光放电阴极鞘层区正离子组分及能量分布进行了诊断研究 .在所研究的实验条件下 (压力 13 3~ 2 79Pa,放电电流 2~ 7m A) ,离子流中主要离子成分是 N+、N+ 2 ,且 N+比 N+ 2 的浓度大 5倍左右 .鞘层区的 N+、N+ 2的能量分布均有一极大值 ,该极值在所研究实验条件下随气压增高而减小 ,随放电电压增大而增大 .对氮等离子体中所包含的主要基元过程进行了讨论……   
[关键词]:分子束质谱;;等离子体诊断/离子能量
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《大连理工大学学报2000年04期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)