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梳状音叉MEMS陀螺非随机误差分析

李荣冰;刘建业;林雪原;华冰;刘瑞华

  研究了一种典型结构的梳状音叉MEMS陀螺的非随机性误差特性。综合考虑梳状音叉MEMS陀螺质心偏移、硅的非等弹性等因素,分析该陀螺中的非随机性干扰力矩;从二阶欠阻尼控制系统的角度,讨论了干扰力矩在陀螺内调制、解调环节下对输出的影响;推导出开环灵敏度随温度、比力和角速度的变化关系。在一定近似条件下,得到梳状音叉MEMS陀螺非随机性误差模型的形式。……   
[关键词]:MEMS陀螺;非随机性误差;微电子机械系统;惯性导航
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《电子科技大学学报2006年06期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)