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溅射技术在磁头制造方面的应用

刘丽丽

  本文介绍了国外最新的溅射设备及溅射在磁头方面的应用,最后介绍一种通过改变磁场配置,提高溅射速度和溅射膜质量的新方法。……   
[关键词]:溅射;薄膜;磁记录;磁头
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《磁性材料及器件1992年01期