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气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜

张占文;李波;王朝阳;余斌;林波

  原子序数低的CH薄膜在惯性约束聚变实验用靶的制备中应用很广泛。介绍了真空气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜的实验设备、实验原理和实验方法。制备聚对二甲苯薄膜的原料在400K附近蒸发,950K附近裂解成单体,单体在300K的低温表面聚合成膜。研究了薄膜厚度的计算方法,并根据实验数据推导了计算公式,从而实现了对薄膜厚度的精确控制,使其在惯性约束聚变靶制备中得以应用。……   
[关键词]:气相沉积;制备;聚对二甲苯
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《材料导报2003年06期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)
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