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衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究进展

王必本;王万录;廖克俊;肖金龙

  综述了近几年来对衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究,并且对各种机制进行了分析和讨论,提出了今后有待研究的问题。……   
[关键词]:衬底负偏压;成核机制;金刚石膜
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《材料导报2000年04期